LF481
Mjerni standard |
DIADUR fazna resetka na celiku |
Mjerni signali |
Inkrementalni - 1Vpp |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-3um |
Preporuceni mjerni korak |
1-0.1 um |
Referentni signal |
1 ili duzinsko-kodiran |
|
LS388C
Mjerni standard |
DIADUR staklo |
Mjerni signali |
Inkrementalni - 1Vpp |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-10um |
Preporuceni mjerni korak |
1 um |
Referentni signal |
duzinsko-kodiran |
|
LS487
Mjerni standard |
DIADUR staklo |
Mjerni signali |
Inkrementalni - 1Vpp |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-3um |
Preporuceni mjerni korak |
1-0.1 um |
Referentni signal |
1 ili duzinsko-kodiran |
|